“后摩爾時代"是指隨著摩爾定律逐漸接近物理極限,半導體行業(yè)進入一個新的發(fā)展階段。在后摩爾時代,半導體行業(yè)有三大主要技術方向:
一、新材料
二維材料
碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)
二、新架構
三維集成
異構集成
三、新工藝
極紫外光刻(EUV)技術的深化應用
特點:極紫外光刻技術使用波長極短(如 13.5 納米)的極紫外光進行光刻,能夠實現更小的芯片特征尺寸。它比傳統(tǒng)的深紫外光刻技術精度更高,可以制造更小的晶體管。
應用前景:目前 EUV 技術是先進制程芯片制造的關鍵技術,未來隨著技術的進一步發(fā)展,它將能夠制造更小尺寸的芯片,比如 3 納米、2 納米甚至更小制程的芯片,從而推動半導體行業(yè)繼續(xù)向高性能、低功耗方向發(fā)展。
原子層沉積(ALD)技術
這三大技術方向相互配合,共同推動后摩爾時代半導體行業(yè)的發(fā)展,使其能夠突破傳統(tǒng)技術的限制,滿足日益增長的高性能、低功耗、小尺寸等需求。